日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件，高分辨成像所設(shè)計。
紫外臭氧清洗機常用于掃描探測顯微鏡的樣品應(yīng)用，我們的設(shè)備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經(jīng)過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側(cè)向分辨率。
    PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進出氣接口。該系統(tǒng)由一個方便的預設(shè)置控制器控制，非常容易操作。
? 預設(shè)置的數(shù)字控制器
? 方便簡單的兩按鍵操作
? 自動工作：15.30.60.120分鐘
? 工作進程可以在任何時候手工終止
? 系統(tǒng)不能提供加熱盤選項
? 經(jīng)濟實用的設(shè)計使得PSD系列成為的選擇

• 新的電子槍和電子光學設(shè)計提高了低加速電壓性能。

• 0.4nm / 30kV（SE）

• 1.2nm / 1kV（SE）

• 0.34nm / 30kV（STEM）

• 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

• 采用設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。
  

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